7N čpavek

7N Amoniak je elektronický-speciální plyn s čistotou 99,99999 %. Primárně se syntetizuje z dusíku a vodíku za vysoké teploty a tlaku, následuje vícestupňová destilace, adsorpce a purifikace. Jako kritický procesní plyn ve výrobě polovodičů, složených polovodičů a pokročilé výrobě displejů je jeho ultra-vysoká čistota nezbytná pro zajištění kvality tenkého- filmu, výkonu zařízení a výtěžnosti výroby. Dokonce i stopové nečistoty,-jako je vlhkost, kyslík, uhlovodíky a ionty kovů{10}}mohou vést k závadám zařízení, díky čemuž je 7N Amonia nepostradatelným základním materiálem ve špičkové{12}}výrobě.

Navázali jsme dlouhodobé{0}}strategické partnerství s-předním světovým výrobcem polovodičů třetí-generace. Pro jejich sériovou výrobu zařízení na napájení GaN-on{5}}Si zákazník požadoval téměř-limitní specifikace pro vlhkost a kovové nečistoty v 7N-čistém plynném čpavku (vlhkost menší nebo rovna 5 ppb, kovové ionty menší nebo rovna 0,005 ppb). Upravili jsme pro ně speciální modul čištění a online monitorovací systém a zavedli jsme nepřerušované, bez kontaminace{12}}bez{13}}místa{13}}použití-dodávky prostřednictvím vyhrazeného potrubí. Po celou dobu spolupráce pomohl dodávaný 7N vysoce čistý čpavkový plyn zákazníkovi snížit hustotu defektů epitaxních plátků o 30 %, což výrazně zlepšilo výtěžnost a spolehlivost zařízení, a upevnilo tak jejich vedoucí pozici na trhu vysokonapěťových výkonových polovodičů. Toto pouzdro je příkladem naší silné schopnosti poskytovat integrovaná řešení ultra-vysoce{22}}čistého plynu.